MEMS CAD系统IMEE的研究和开发

被引：5

作者：

张海霞

郭辉

肖志勇

周荣春

郝一龙

机构：

[1] 北京大学微电子学研究院

[2] 北京大学微电子学研究院北京

[3] 北京

来源：

微纳电子技术 | 2003年 / Z1期

关键词：

MEMS CAD; IMEE; 工艺设计与模拟; 跨平台UNIX/Windows;

D O I：

10.13250/j.cnki.wndz.2003.z1.028

中图分类号：

TP391.72 [];

学科分类号：

080201 ; 080203 ; 081304 ; 1403 ;

摘要：

IMEE是一个自主研发的MEMSCAD系统 ,它包括节结点化的系统设计功能、工艺编辑、设计和三维模拟功能、参数化版图单元的版图设计功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线 ,贯穿整个设计过程 ,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题 ,实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外 ,该系统是跨平台的 ,即适用于UNIX也适用于WINDOWS操作系统 ,对其他MEMSCAD软件具有很好的兼容性 ,还支持用户自主扩展其他功能模块。

引用

页码：92 / 95

页数：4