高能激光反射镜热变形补偿

被引：21

作者：

冯志庆 ^{[1
,2
]}

白兰 ^{[3
]}

张增宝 ^{[4
]}

林冠宇 ^{[5
]}

机构：

[1] 大连理工大学物理与光电工程学院

[2] 大连民族学院理学院

[3] 大连民族学院机电信息工程学院

[4] 中国科学院大连化学与物理研究所化学激光国家重点实验室

[5] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

来源：

光学精密工程 | 2010年 / 18卷 / 08期

关键词：

高能量激光; 反射镜; 球差; 热变形; 热补偿;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN243 [激光器结构];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

研制了一套由压电陶瓷驱动器、压力传感器、环状力施加机构和控制电路组成的反射镜动态热变形补偿系统用于补偿激光反射镜热变形球差。圆形反射镜在两个同轴不同半径的环形力作用下,其内环区域产生曲率可变的抛物面形变,由此补偿反射镜热变形带来的球差项。对镜体进行了有限元数值计算,建立了变形量与沉积热量与受力的关系。采用口径为100mm,厚度为8mm平面反射镜进行了受力-变形以及辐照-受力-变形实验,利用干涉仪对面型进行监测。研究表明,在不同推力作用下,有效区域内变形始终保持抛物面形。给出了推力-面型变化曲线,在225N推力下,中心最大变形超过3μm。在不同热沉积量下,镜体中心位移和受力保持线性关系,力-变形系数为0.013μm/N。

引用

页码：1781 / 1787

页数：7

共 9 条

[1] 静电排斥型微机电系统变形镜驱动器 [J].