基于双层蚂蚁算法的半导体炉管制程批调度研究

被引：7

作者：

梁静

钱省三

马良

机构：

[1] 上海理工大学管理学院

来源：

关键词：

批调度; 炉管; 蚂蚁算法; 总完工时间;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305 [半导体器件制造工艺及设备];

学科分类号：

1401 ;

摘要：

借助蚁群系统较强的路径寻优能力与并行搜索特点,设计了一种双层蚂蚁算法,解决了多品种晶圆批连续到达动态环境下非等效平行多机器的批调度问题.仿真实验表明,算法能得到较好的可行解,并优于其他启发式算法,对高负载的工作环境具有良好的适用性.

引用

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