一种快速高精度三线阵CCD三维轮廓术

文中提出一种新的快速三维轮廓测量方法,将三个1024像素的光敏元阵列等间距封装在一起,无须通常的机械或电子式的移相操作,只要物体的位移量和空间采样间隔满足整数倍的比例关系,一次性连续扫描采样就可以获得三幅相位图。通过三路DSP处理器自动计算,就可完成整个测量过程。实验结果表明,本文提出的三线阵CCD相位测量系统具有较高的测量精度和测量速度,有很高的实用价值。