红外焦平面阵列技术的发展现状

被引：4

作者：

孙志君

机构：

[1] 重庆光电技术研究所!重庆

来源：

半导体光电 | 2000年 / S1期

关键词：

红外焦平面阵列; 非致冷; 测热辐射计;

D O I：

10.16818/j.issn1001-5868.2000.s1.007

中图分类号：

TN215 [红外探测、红外探测器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

文章评述各种红外焦平面阵列技术的发展现状 ,其中 ,光量子型红外焦平面阵列包括Ⅱ -Ⅵ族HgCdTe三元化合物阵列、Ⅲ -Ⅴ族InSb二元、InGaAs和GaAiAs三元化合物阵列、PtSi和非本征硅阵列技术 ,热型红外焦平面阵列包括Si、金属Ti、VOx 微测热辐射计、多晶硅热电堆和钡锶钛 (BST)等热释电 -铁电阵列 ,展望了该技术的发展前景。

引用

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