钛离子注入类金刚石碳膜的结构与性能的研究

被引：11

作者：

柳翠

苟伟

牟宗信

李国卿

机构：

[1] 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

[2] 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室辽宁大连

[3] 辽宁大连

来源：

功能材料 | 2005年 / 02期

基金：

国家高技术研究发展计划(863计划);

关键词：

无机非金属材料; 类金刚石碳膜; 金属离子注入; 钛掺杂;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

使用金属离子注入的方法制备了 Ti掺杂的DLC膜。采用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌,Ti掺杂后 DLC 膜的表面粗糙度明显减小,表面光洁度增加,颗粒细化。拉曼光谱分析表明实验获得的薄膜是典型的DLC膜,掺杂Ti后的 DLC膜的拉曼光谱存在明显的肩峰,DLC膜化学结构中的sp2 组分增加,sp3 组分减少。透射电子显微镜分析表明Ti注入后有TiC纳米晶形成。掺入Ti的 DLC膜的硬度从 14GPa增加到 20GPa。Ti 掺杂后的 DLC 膜的摩擦系数(0.15)明显低于未掺杂的DLC膜的摩擦系数(0.21),Ti离子注入有助于提高薄膜的抗磨损性。

引用

页码：301 / 303

页数：3

共 9 条

[1]

DonnetC. Surface and Coatings Technology . 1998

[2]

YangW J,ChoaY H,SekinoT, et al. Thin Solid films . 2003

[3]

VoevodinA A,CapanoM A,LaubeS J P, et al. Thin Solid films . 1997

[4]

LiL H,ZhangH Q,ZhangY H, et al. MaterSciEng . 2002

[5]

Robertson J. Surface and Coating s Technology . 1992

[6]

RobertsonJ. Advanced inPhysics . 1986

[7]

KoumeiB,RurikoH. Surface and Coatings Technology . 2002

[8]

LiuY,MeletisE I. Surface and Coatings Technology . 2002

[9]

KolitschA,SümmchenL,UllmannJ, et al. Surface and Coatings Technology . 1996

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