铅基钙钛矿型结构铁电薄膜的介电及热释电性能研究

被引：5

作者：

刘梅冬

陈实

曾亦可

饶韫华

李楚容

陈磊

潘晓光

邓传益

机构：

[1] 华中理工大学电子科学与技术系!湖北武汉

[2] 华中理工大学电子科学与技术系!湖北武

来源：

关键词：

铁电薄膜; 溶胶-凝胶技术; 介电性; 热释电性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM223 [];

学科分类号：

0805 ; 080502 ; 080801 ;

摘要：

用改进的溶胶 -凝胶旋转涂覆技术 ,在Pt/Ti/SiO2 /Si基片上研制出 1～ 2 μm厚 ,具有钙钛矿型结构的PbTiO3、PLT和PZT铅基铁电薄膜。该类铁电薄膜具有良好的结晶特性、优异的介电和热释电性能。

引用

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