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利用准分子激光刻蚀法在光学玻璃上快速制作耐用的相位透射光栅
被引：3
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关键词：
光学玻璃;
激光刻蚀;
光学材料;
光栅材料;
准分子激光;
刻蚀速率;
衍射光栅;
光栅;
刻蚀法;
相位;
能量密度;
能量浓度;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN305.7 [光刻、掩膜];
学科分类号：
1401 ;
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