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高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点
被引：5
作者：
余健业
谢信能
刘廷壁
邵曼君
黄兰友
机构：
[1] 中国科学院科仪研制中心
[2] 中国科学院化工冶金所
来源：
关键词：
环境扫描电镜,成像原理,真空系统,环境探测系统,高温样品台;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN16 [电子光学仪器];
学科分类号：
0803 ;
080401 ;
摘要：
本文简要地叙述了ＫＹＫＹ１５００高温环境扫描电镜的一些基本概念：气体的电离效应，背底噪音，偏电压对信号电流的影响及图像形成的原理：并简单地介绍了本电镜的三个主要特殊系统（三级真空系统，环境信号探测系统及高温样品台）的结构与特点，此外，又给出了高温样品台中加热炉丝磁场对电子轨迹影响的计算结果，为选用加热电源的技术指标确定了理论根据
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