飞秒激光微加工:激光精密加工领域的新前沿

被引:92
作者
何飞
程亚
机构
[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室
关键词
超快光学; 飞秒激光; 光与物质相互作用; 微加工; 集成光学; 双光子聚合; 微流体; 纳米颗粒;
D O I
暂无
中图分类号
TN249 [激光的应用];
学科分类号
摘要
飞秒激光微加工技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点,这些特性是传统的激光加工技术所无法取代的。首先回顾了激光微加工和超短脉冲激光技术的发展历史,然后介绍超短脉冲激光与金属和介质材料相互作用的机制,接着阐述了飞秒激光直写、干涉和投影制备等各种加工方法的原理,重点讨论飞秒激光在三维光子器件集成、微流体芯片制备及其在生化传感方面的应用等,最后展望了飞秒激光微加工领域所面临的机遇和挑战,指出了未来的研究方向。
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页数:28
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