CO2激光控制断裂切割氧化铝陶瓷基片最佳条件的探讨

被引:9
作者
张铭峰
张胜雄
郑劭家
刘海北
机构
[1] 高雄科学技术学院机械系!高雄
[2] 中央大学光电科学研究所!中坜
关键词
CO2激光; 断裂切割; 氧化铝陶瓷片;
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
利用 CO2 激光连续脉冲频率的快慢 ,平均功率的大小 ,加上辅助空气吹气压力的变化及其之间的相互作用 ,探讨氧化铝陶瓷基片控制断裂切割的最佳模式。
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共 1 条
[1]  
Investigation of optimized drilling conditionsof Al2 O3 ceramic plate by CO2 laser. Chang Mingfeng,Cheng Chaochia,Chang Shengsiung etal. Chinese Journal of Lasers . 1999