用透射光栅谱仪测量多层膜的反射特性

软 Ｘ 射线多层膜是当前应用光学和工程光学的研究热点之一，反射率是其性能和膜层质量最直观的参数，它的测量对了解多层膜性能和改进多层膜制备工艺具有重要意义。本文介绍采用带有前置光学系统的大面积透射光栅光谱仪分光，让软 Ｘ 射线多层膜反射＋ １ 级或－ １ 级软 Ｘ 射线，用国产的 Ｓ Ｉ Ｏ Ｆ Ｍ 型 Ｘ 射线胶片接受软 Ｘ射线，通过测量可定性地判断多层膜制备质量，为改进多层膜制备工艺提供重要的参考依据。