飞秒激光在6H SiC晶体表面制备纳米微结构

被引：13

作者：

吴晓君 ^{[1
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贾天卿 ^{[1
]}

赵福利 ^{[1
]}

黄敏 ^{[1
]}

陈洪新 ^{[1
]}

许宁生 ^{[1
]}

徐至展 ^{[2
]}

机构：

[1] 中山大学光电材料与技术国家重点实验室

[2] 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室

来源：

光学学报 | 2007年 / 01期

关键词：

光学材料; 飞秒激光; SiC晶体; 纳米阵列; 周期结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383.1 [];

学科分类号：

摘要：

激光诱导周期性纳米微结构在多种材料包括电介质、半导体、金属和聚合物中观察到。研究了800nm和400nm飞秒激光垂直聚焦于6H SiC晶体表面制备纳米微结构。实验观察到800nm和400nm线偏光照射样品表面分别得到周期为150nm和80nm的干涉条纹,800nm圆偏振激光单独照射样品表面得到粒径约100nm的纳米颗粒。偏振相互垂直的800nm和400nm激光同时照射晶体得到粒径约100nm的纳米颗粒阵列,该纳米阵列的方向随400nm激光强度增加而向400nm偏振方向偏转。利用二次谐波的观点对以上纳米结构的形成给出了解释。

引用

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页码：105 / 110

页数：6

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