共 2 条
[1]
微电子学概论.[M].张兴等编著;.北京大学出版社.2000,
[2]
硅微机械加工技术.[M].黄庆安编著;.科学出版社.1996,
微机电系统与微加速度计
被引：3
作者：
张霞
机构：
[1] 北京广播学院物理教研室北京
来源：
关键词：
微机电系统;
微加速度计;
力学;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH824.4 [];
学科分类号：
摘要：
本文简要介绍了具有高新技术特征的微机电系统 ,以及一种典型的微机电系统器件———微加速度计
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