微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究

被引：16

作者：

宋文荣

于国飞

孙宝玉

王延风

何惠阳

不详

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

[2] 吉林大学机械科学与工程学院

[3] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春

[4] 吉林长春

[5] 吉林

来源：

光学精密工程 | 2002年 / 03期

关键词：

磁悬浮; 定位平台; 线性电机; 无接触驱动; Hopf分叉;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN402 [设计];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

利用磁悬浮技术将铁磁性平台悬浮在磁场中 ,通过线性电机无接触驱动 ,结合控制技术实现平台的快速精密定位。合理的设计将悬浮力和导向力两个磁悬浮系统合二为一 ,即结构简单 ,控制容易又能获得精确的导向精度。选用线性同步电机 ,避免了感应电机磁场感应所产生的法向力对平台的振动作用 ,有利于悬浮系统的控制。悬浮系统无接触 ,无摩擦 ,克服了磨损、金属粉尘及油脂污染等问题 ;无接触线性驱动减少了机械联结件 ,消除了联结间隙 ,减轻了重量 ,能有效提高动态响应频率和定位精度 ;这些使定位平台能够满足现代信息产业对超洁净制作环境和高精度、高效率的要求

引用

页码：271 / 275

页数：5

共 8 条

[1] 磁浮列车原理及技术特征 [J].