MEMS器件在冲击下的可靠性

被引：5

作者：

方绪文

唐洁影

黄庆安

机构：

[1] 东南大学MEMS教育部重点实验室

[2] 东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京

[3] 江苏南京

来源：

关键词：

微电子机械系统; 冲击; 可靠性; 可靠性设计;

D O I：

10.13250/j.cnki.wndz.2004.07.007

中图分类号：

TN402 [设计];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

MEMS器件在制造、运输和使用过程中不可避免地受到不同程度的冲击作用,分析和认识MEMS器件在冲击下的响应和失效模式,对提高器件的耐冲击和可靠性具有一定的指导意义。本文综述了MEMS器件的冲击测试和理论分析方法,对MEMS器件的可靠性设计具有一定参考价值。

引用

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