二自由度微定位平台的研制

被引：26

作者：

田延岭 ^{[1
]}

张大卫 ^{[1
]}

闫兵 ^{[2
]}

机构：

[1] 天津大学机械工程学院

[2] 天津工程师范学院机械工程系

来源：

光学精密工程 | 2006年 / 01期

基金：

天津市自然科学基金;

关键词：

微定位平台; 压电陶瓷驱动器; 动态性能;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

摘要：

研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台,该微定位平台具有高刚度、高响应速度和高分辨率等优点。为了克服压电陶瓷驱动器伸长量较小的不足,采用杠杆放大机构增加微定位平台的位移输出。考虑驱动电路的影响,建立了微定位平台的机电耦合模型。通过试验研究了微定位平台的静动态特性,试验结果表明微定位平台的分辨率为5 nm,固有频率分别为143 Hz和180 Hz。该微定位平台可应用于纳米级的微定位。

引用

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