监控光带宽对真空蒸镀窄带滤光片的影响

被引：1

作者：

杨光

张晓晖

陈清明

徐红春

机构：

[1] 华中科技大学激光技术国家重点实验室

[2] 武汉电信器件公司

来源：

关键词：

窄带滤光片; 监控光带宽; 极值法; 过正控制;

D O I：

10.13245/j.hust.2001.06.020

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

分析了监控光带宽对薄膜淀积时膜厚极值点的影响 ,建立了模拟薄膜实际淀积过程的计算机模拟程序 ,通过对几种窄带滤光片膜系结构的模拟分析 ,得到了这些膜系对监控光带宽的基本要求

引用

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