Nd、Mn和In元素改性的PbTiO3压电陶瓷及其声表面波滤波器

本文研究了Nd、Mn和In元素改性的PbTiO3压电陶瓷及其声表面波滤波器。压电陶瓷的化学通式为(Pb1-3/2x+1/2zNdx)(Ti1-y-zMnyInz)O3。本文还详细地讨论了组份配比为x=0.10,y=0.02和z=0.06的压电陶瓷的制造工艺条件（包括原料处理、成型、烧成温度及气氛条件、保温时间等）对样品性能的影响。采用静水压成型、通氧烧结等工艺得到了密度为7.64g/cm3、气孔小、晶粒尺寸为0.8—1.5μm、传输损耗为6dB/cm、V3=2488m/s、Ks2=2.1％、ε33T/ε_o=240、Qm值为1390、TDC=-26ppm（-40—+60℃）和居里温度为340℃的适用于声表面波器件的压电陶瓷。用此种陶瓷为基片,制成了25MHz、37MHz、44MHz的声表面波滤波器,其优点是插入损耗小和一致性好。