28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜

被引：4

作者：

王国田

马月英

曹健林

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长春

来源：

光学仪器 | 1999年 / Z1期

关键词：

X射线光学; 多层膜反射镜; 离子束溅射;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

070204 [等离子体物理];

摘要：

对于宇宙的探讨，特别是对太阳大气层的研究，需要用Ｘ射线、极紫外及远紫外波段望远镜来观测。我们报道了一种新的材料组合Ｃ／Ｓｉ用于２８．４ｎｍ（４３．６５ｅＶ）和３０．４ｎｍ（４０．７８ｅＶ）波段的多层膜反射镜，并且用离子束溅射装置制备了正入射条件下的Ｃ／Ｓｉ多层膜反射镜。同时，我们用软Ｘ射线反射计测量了其反射率，在正入射条件下测得最大反射率达１４％（３０．４ｎｍ）。

引用

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