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真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜
被引：4
作者：
李刘合
夏立芳
马欣新
孙跃
机构：
[1] 哈尔滨工业大学材料学院
来源：
关键词：
类金刚石碳膜；真空阴极弧离子镀；喇曼光谱;
D O I：
暂无
中图分类号：
TG154.5 [涂镀材料];
学科分类号：
摘要：
采用真空阴极弧离子镀的方法，以乙炔和氢气分别作工作介质，以氩气为稀释气体，研究了类金刚石碳（ＤＬＣ）膜的制备工艺及其结构和硬度．喇曼光谱分析表明，所得膜为典型的ＤＬＣ膜，表现为一个波数在１３００～１７００ｃｍ－１的宽峰，工艺不同，喇曼光谱曲线的形状也略有变化．ＳＥＭ分析表明所得ＤＬＣ膜结构致密光滑．纳米探头硬度表明，ＤＬＣ膜表面硬度均高于１０ＧＰａ．
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