微流量系统的基础技术研究

被引：19

作者：

周兆英

叶雄英

李勇

杨岳

熊沈蜀

王晓浩

张文栋

才海男

龚秋莲

机构：

[1] 清华大学!北京市

[2] 清华大学

来源：

中国机械工程 | 1999年 / 09期

关键词：

微型机电系统; 微流量系统; 微型泵; 尺寸效应;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP273 [自动控制、自动控制系统];

学科分类号：

080201 ; 0835 ;

摘要：

介绍了国家自然科学基金重点资助项目“微型机械制造基础理论及基础技术研究”中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果，并结合微流量系统研究分析了当前微型机电系统发展的几个特点。微型机电系统的重要基础课题的研究突破为其发展和应用打下基础。国际上微型光机电系统技术刚走向全面发展，正是我国发展该领域的好时机。

引用

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