基于新型光栅传感器的微位移测量

被引：5

作者：

杨春振

白立新

机构：

[1] 四川大学物理科学与技术学院

来源：

传感器与微系统 | 2012年 / 31卷 / 07期

关键词：

光栅传感器; 莫尔条纹; 线位移; 角位移; 线性度; 精确度;

D O I：

10.13873/j.1000-97872012.07.042

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

实验将新型光栅传感器应用于微位移测量之中。通过比较线(角)位移与莫尔条纹移动个数之间的关系,实验发现,在微位移测量中光栅传感器具有极好的线性度(R2≥0.999)和精确度(误差≤2.0%)。实验验证了光栅传感器在微位移测量中可行性和可靠性。

引用

页码：123 / 125

页数：3

共 7 条

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