用离子束辅助沉积技术制备ZnS/MgF2膜

被引：2

作者：

顾迅

蒋玉兰

机构：

[1] 上海交通大学表面工程研究所

来源：

关键词：

镀膜,离子束辅助沉积(IBAD),ZnS／MgF2软膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

研究了用离子束辅助沉积技术在玻璃表面交替镀覆高折射率（ＺｎＳ）和低折射率膜（ＭｇＦ２）。从冷光灯大量生产的需要出发，对离子源的结构以及镀膜系统作了改进。试验表明，用这项改进的技术，可以在大量生产条件下制备得到具有良好光学特性、附着性、强度、防潮性、致密性和耐蚀性的ＺｎＳ／ＭｇＦ２镀膜制品。

引用

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