压电微悬臂梁共振频率的检测系统

被引：4

作者：

胡长德 ^{[1
]}

赵美蓉 ^{[2
]}

刘颖伟 ^{[3
]}

朱砂 ^{[1
]}

机构：

[1] 装备指挥技术学院士官系

[2] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室

[3] 军事科学院研究生院

来源：

压电与声光 | 2009年 / 31卷 / 06期

关键词：

压电微悬臂梁; 共振频率; 振幅; 放大电路; 压电薄膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

介绍了一种压电微悬臂梁共振频率检测系统。压电材料沉积在微悬臂梁上,在压电层的上下电极之间施加交变电压使其振动,当微悬臂梁的振动频率等于它的固有频率时,发生共振,此时微悬臂梁的振幅最大。结合所设计的激励电路以及微悬臂梁共振频率检测电路,对压电微悬臂梁进行了检测实验。实验结果表明,放大电路能够检测出压电微臂梁的共振频率,并且压电微悬臂梁达到共振时,共振频率附近振幅远大于其他频率对应的振幅,振幅最大值接近600nm。

引用

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