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软X射线多层膜的光学性质和优化设计
被引：2
作者：
范正修
金磊
邵建达
机构：
[1] 中国科学院上海光机所
来源：
关键词：
soft X-ray multilayer;
optimum design;
thickness of layer;
roughness;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
<正> 一、引言 X射线多层膜是X激光和X光学的重要元件。近几年,不论在理论上还是在技术上,都得到了较快发展。 从X光晶体衍射角度出发,X射线多层膜可看作超晶格一维人工晶体。从薄膜光学出发,X射线多层膜是一类光学薄膜。这种薄膜的膜层很薄,折射率都接近1,并存在一定的吸收。X
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