扫描探针显微镜的基础知识

被引：4

作者：

胡晓明

机构：

[1] 中国科学院物理研究所!北京

来源：

关键词：

扫描探针显微镜; 悬臂; 压电扫描器; 样品间; 针尖; AFM;

D O I：

10.13405/j.cnki.xdwz.1997.02.012

中图分类号：

TH742.7 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

<正>本世纪80年代初,扫描探针显微镜(SPM)对硅表面第一次的实空间成象使整个世界为之震惊,现在扫描探针显微镜已在各行各业获得了广泛的应用,包括表面科学,常规表面粗糙度的分析及表面从原子级到微米级凸起的三维成象。

引用

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