未找到相关数据
NO2高选择性气敏元件及其表面修饰
被引：4
作者：
黄忠宇
孙良彦
平田光寿
机构：
[1] 吉林大学电子科学系
[2] 日本千叶工业大学电子学系
来源：
关键词：
WO3气敏传感器;
NO2;
表面修饰;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文报导了用WO3气敏材料制作高灵敏度、高选择性N02气敏元件的研究结果,并利用修饰技术在元件特性的改善和提高方面做了初步实验,对元件敏感机理也做了初步探讨.结果表明,元件对N02具有高灵敏、高选择特性,元件阻值合适且响应恢复快,并有良好的抗湿度特性,通过对元件气氛处理、掺杂等表面修饰技术可明显提高元件的气敏特性.
引用
收藏
页码：10 / 14
页数：5
相关论文