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基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关
被引：1
作者：
郑惟彬
黄庆安
李拂晓
机构：
[1] 东南大学MEMS教育部重点实验室
[2] 南京电子器件研究所 南京
[3] 南京
来源：
关键词：
微机械;
MEMS;
砷化镓;
砷化物;
RF MEMS;
衬底;
基片;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN44 [膜集成电路];
学科分类号：
080903 ;
1401 ;
摘要：
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页数：1
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