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激光等离子体原理.[M].[美]贝克菲(G·Bekefi) 著;庄国良;褚成 译.上海科学技术出版社.1981,
低气压微波感耦氩等离子体空间分布特性光谱诊断
被引：3
作者：
雷杰
付宏郎
普晓云
林理忠
机构：
[1] 云南大学物理系,云南大学物理系,云南大学物理系,云南大学物理系昆明,昆明,昆明,昆明
来源：
关键词：
低气压微波感耦氩等离子体;
辐射光谱;
激发温度;
空间分布;
激发机理;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
Emission spectra of a low pressure argon microwave-induced plasma sustained by a surfatron were studied using OMA-3. After Abel inversion, the spatial distributions of emission spectral intensities and excitation temperatures of the plasma were given at different argon pressures and microwave powers. The excitation mechanism of the plasma was discussed.
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