电子束物理气相沉积技术及其应用现状

被引：22

作者：

关春龙

李垚

赫晓东

机构：

[1] 哈尔滨工业大学复合材料研究所

来源：

航空制造技术 | 2003年 / 11期

关键词：

电子束物理气相沉积; 热障涂层; 微层材料; 叶片;

D O I：

10.16080/j.issn1671-833x.2003.11.006

中图分类号：

TG174.4 [金属表面防护技术];

学科分类号：

摘要：

介绍了电子束物理气相沉积设备的结构、工艺特点及应用范围 ,并在此基础上介绍了电子束物理气相沉积技术在制备热障涂层、微层材料以及新型叶片等方面取得的应用成果

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