共 1 条
[1]
表面粗糙度的现代测量技术
被引：14
作者：
曹麟祥
王红
机构：
[1] 西北工业大学,西北工业大学
来源：
关键词：
D O I：
10.19708/j.ckjs.1992.02.007
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
介绍80年代发展起来的、新的高精度扫描隧道显微技术、干涉计量技术、亚纳米级轮廓仪及光的角散射分布测量技术。
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