利用2003—2018年沪深A股上市公司数据,采用随机前沿分析方法 (SFA)估算并分解上市公司全要素生产率(TFP),考察研发补贴对企业整体TFP及构成TFP的前沿技术进步、技术效率、规模效率与配置效率四个组成部分的影响。研究发现,研发补贴没有显著促进整体TFP增长;从TFP的内在结构看,研发补贴显著促进前沿技术进步,显著抑制配置效率提升,没有显著影响技术效率和规模效率。进一步按企业所有权性质、融资约束、行业特征、知识产权保护水平分组分析,发现研发补贴显著促进非国有企业、受融资约束程度较高企业、非高技术行业企业、处于激烈竞争市场中的企业以及知识产权保护程度较低地区企业的前沿技术进步;显著降低受融资约束程度较低企业、非高技术行业企业、市场竞争程度较低企业的配置效率。论文的研究结论对完善研发补贴政策、提高企业全要素生产率水平有一定启示。