超薄薄膜反射镜面形光机集成分析

被引：5

作者：

齐迎春 ^{[1
]}

安源 ^{[1
]}

金光 ^{[1
]}

许艳军 ^{[2
]}

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

[2] 吉林大学

来源：

关键词：

薄膜反射镜; Zernike多项式拟合; 有限元; 集成分析;

D O I：

10.16818/j.issn1001-5868.2006.05.015

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

运用有限元法对不同工况下平面薄膜反射镜的变形进行了计算。用Gram-smith正交化方法处理了Zernike多项式,并编制了光机接口程序,计算Zernike系数,对反射镜波前进行拟合,对外载荷对超薄薄膜反射镜的影响进行了分析。

引用

页码：563 / 565

页数：3

共 4 条

[1] 运用泽尼克多项式进行物面波前数据拟合附视频 [J].

惠梅 ;

牛憨笨 .

丁福建 ;

李英才 ;

不详 .

[3] 自重作用下中心支撑主反射镜面形变化研究 [J].

吴清文，卢锷，王家骐，张学军，牛晓明 .

[4] 关于Kārmàn薄板方程与薄膜理论的过渡问题 [J].

郑晓静 ;

周又和 .