三步非定步长相移轮廓术研究

被引：7

作者：

高成勇

王蕴珊

周灿林

机构：

[1] 山东大学物理与微电子学院

[2] 山东大学物理与微电子学院济南

[3] 济南

来源：

光电子·激光 | 2004年 / 08期

关键词：

相位测量轮廓术; 投影栅; 相移法;

D O I：

10.16136/j.joel.2004.08.020

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;

摘要：

移相式相位轮廓术的关键在于相移量的检测、提取。只有正确地提取出相移量才能提高测量的精度,降低测量系统的复杂性。在对非定步长相移轮廓术研究的基础上,提出了一种新的投影栅相位测量方法———三步非定步长相移法,只需相移光栅两步并获取66幅条纹图,即可完成非定步长解调相位的工作。该方法无须精确的相移器,计算过程相对简单并且速度快。并且给出了与Kong Kim算法实验及计算结果的比较,证明该方法具有较高的精度。

引用

页码：967 / 970

页数：4

共 4 条

[1]

General algorithm of phase-shifting interometry by interactive least-squares fit-ting. Kong I B,Kim S W. Optical Engineering . 1995

[2]

Fourier transform profilometry for the automatic measurement of 3-D object shapes. Takeda M,Mutoh K. Applied Optics . 1983

[3]

An imprved Fourier transform profilometry for the automatic measurement of 3-D object shapes. Li J,Su X Y,Guo L R. Optical Engineering . 1990

[4]

Portable inspection of precision surfaces by phase-shifting interferometry with auto-matic suppression of phase-shift errors. Kong I B,Kim S W. Optical Engineering . 1995

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