光学元件表面疵病检测扫描拼接的误差分析

被引：9

作者：

刘旭 ^{[1
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杨甬英 ^{[1
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刘东 ^{[1
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陆春华 ^{[1
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肖冰 ^{[1
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李凌丰 ^{[1
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翁俊淼 ^{[1
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王琳 ^{[1
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杨李茗 ^{[2
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李瑞洁 ^{[2
]}

机构：

[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

[2] 中物院激光聚变研究中心

来源：

光电子激光. | 2008年 / 08期

关键词：

表面缺陷检测; 表面散射; 子孔径拼接误差分析; 大口径光学元件;

D O I：

10.16136/j.joel.2008.08.001

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

为实现大口径光学元件表面疵病的高效率、高精准的检测,本文提出一种能分辨微米级疵病的光学显微散射扫描成像检测系统,因为该检测系统单个子孔径的物方视场为毫米级,所以检测大口径光学元件需对X、Y方向进行子孔径扫描成像并将子孔径图拼接成同一坐标系下的全孔径图。在进行扫描时,系统的机构误差会被引入到子孔径列阵中,导致子孔径拼接处产生像素错位,甚至造成拼接断裂的情况,从而严重影响疵病等级及位置的正确评定。鉴于此,本文对影响全孔径拼接最敏感的误差因素进行了分析,并根据其特点找到合理减小误差的方法,确保子孔径的正确拼接。

引用

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