快速反射镜双X-Y轴控制的仿真研究

被引：21

作者：

张丽敏

郭劲

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

来源：

关键词：

双X-Y轴; 复合轴控制; 精密跟踪; FSM;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

介绍了用于复合轴式光电精密跟踪的双X-Y轴FSM控制系统,即增加了与原X-Y控制轴成90°的2个虚轴,以实现对误差变化量的控制。仿真测试表明:该子系统可以对主系统高频噪声进行有效抑制,较单X-Y轴控制精度提高了6″。

引用

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