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表面膜附着力的压痕法测定
被引：12
作者：
贾俊辉
戚震中
机构：
[1] 中国科学院固体物理研究所
来源：
关键词：
TIC;
CVD;
压痕法;
硬质膜;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文用压痕法测定了离子溅射TiC 膜和化学气相沉积TiN 膜的附着力。实验表明压痕法能够方便地测定薄膜与基体间附着力的大小,并给出了实验结果。
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