ZnO系半导体陶瓷气敏传感器的进展

被引：11

作者：

娄向东

沈荷生

沈瑜生

机构：

[1] 中国科学技术大学

来源：

传感器技术 | 1991年 / 03期

关键词：

ZnO; 气敏材料; 气敏原理;

D O I：

10.13873/j.1000-97871991.03.001

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文综述了ZnO系气敏半导体材料的发展慨况,讨论了元件的结构与气敏效应的关系,评述了解释ZnO系气敏材料性质的敏感机理,探讨了目前存在的问题及今后的发展方向。

引用

收藏

页码：1 / 5

页数：5

相关论文

共 2 条

[1] 稀土元素在气敏半导体中的作用 [J].

任玉芳 .

中国稀土学报, 1985, (01) :15-19

[2]

气、湿敏感器件及其应用[M]. 科学出版社 , 康昌鹤等编著, 1988