PZT铁电薄膜的制备及电学性能研究

被引：7

作者：

王培英，刘梅冬，曾亦可，饶韫华，何恩培

机构：

[1] 华中理工大学固体电子学系

来源：

关键词：

疲劳，老化，PZT膜，反转周期;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN384 [铁电及压电器件];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

使用硝酸锆作锆源的溶胶－凝胶方法制备ＰＺＴ铁电薄膜。他们的电学性能被测试包括电滞回线，电流Ｉ（ｔ）特性，漏电流，矫顽场疲劳和老化。测到的ＰＺＴ薄膜剩余极化８．２μＣ／ｃｍ２，矫顽场６８ｋＶ／ｃｍ．簿膜的寿命可超过１０１１周期。

引用

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