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应用薄膜光学.[M].唐晋发;郑权 编著.上海科学技术出版社.1984,
定值法膜厚监控参数的确定
被引：4
作者：
林永钟，林坚
机构：
来源：
关键词：
定值法，膜厚，监控参数，数值计算;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484 [薄膜物理学];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
定值法监控技术是制备对称周期膜系的有效方法．本文采用数值计算方法确定定值法膜厚监控参数．实验表明，此方法准确、可靠、方便．
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