基于微分相衬方法定量测量表面微观形貌

被引：2

作者：

许忠保

叶虎年

叶梅

宋建萍

机构：

[1] 华中科技大学机械科学与工程学院

[2] 十堰职业技术学院计算机系

来源：

华中科技大学学报(自然科学版) | 2004年 / 02期

关键词：

表面微观形貌; 微分相衬; 点扩展函数; 维纳滤波;

D O I：

10.13245/j.hust.2004.02.022

中图分类号：

TG806 [技术测量方法];

学科分类号：

摘要：

改进了用于定量测量样品表面微观形貌的微分相衬干涉显微镜系统 ,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差ΔΦ进行了精确的计算和校正 ,系统不需要参考表面和机械扫描机构 ,能有效地抑制机械振动等外界环境干扰对测量结果的影响 .并通过建立相应的数学模型推导了系统的点扩展函数 .最后用维纳滤波算法恢复了图像 ,避免了普通逆滤波中的病态问题

引用

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