直流电弧等离子体制备TiN纳米粉末的研究

被引：9

作者：

曹立宏

傅磊

樊友三

机构：

[1] 武汉工业大学

[2] 清华大学

来源：

硅酸盐学报 | 1997年 / 01期

关键词：

氮化钛，纳米粉末，等离子体;

D O I：

10.14062/j.issn.0454-5648.1997.01.019

中图分类号：

TF12 [粉末冶金（金属陶瓷工艺）];

学科分类号：

080502 ;

摘要：

采用直流电弧等离子体蒸发冷凝法制备出了粒径可控的高纯氮化钛（ＴｉＮ）纳米粉末。探讨了等离子体条件下氮化反应过程和影响ＴｉＮ粉末粒度的关键工艺参数。研究表明，高温氮等离子体条件下存在着大量的高活性基团，它们参与了氮化反应，提高了氮化反应活性。反应气体Ｎ２的压力和粉末的冷却温度是影响ＴｉＮ纳米粉末粒度的关键工艺参数。通过控制这些参数可以制备出纯度大于９８％（以质量计，下同），粒度可在８～８０ｎｍ范围内变化的ＴｉＮ纳米粉末

引用

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