影响ESD荷电器件模型放电电流的关键参数研究

被引：1

作者：

邢洁 ^{[1
]}

王明湘 ^{[1
]}

何健 ^{[2
]}

机构：

[1] 苏州大学电子信息学院微电子学系

[2] 飞索半导体中国有限公司

来源：

半导体技术 | 2007年 / 04期

关键词：

静电放电; 荷电器件放电模型; 测试探针; LRC模型;

D O I：

10.13290/j.cnki.bdtjs.2007.04.020

中图分类号：

TN389 [其他器件];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

静电放电峰值电流是基于荷电器件放电模型的放电测试装置中波形验证的关键指标。针对影响放电峰值电流的几个因素:测试探针长度、直径、形状和充电盘绝缘介电层的厚度,研究了这些参数变化对放电峰值电流的影响规律。根据研究结果可调整相应参数,保证荷电器件放电模型的测试装置符合测试标准。基于LRC放电电路的等效模型,实验结果给出了到满意的定量或定性解释。

引用

页码：349 / 353

页数：5