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从微电子器件到微电子机械系统
被引：1
作者：
谢中生
机构：
来源：
关键词：
MEMS应用，表面微机械加工，整体微机械加工，LIGA，高纵横比结构平坦化，三维光刻，背面对准，键合;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN40 [一般性问题];
学科分类号：
080903 ;
1401 ;
摘要：
本文扼要介绍了一种崭露头角的微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的应用前景，以及它的最新工艺技术。并预示在推进ＭＥＭＳ工艺的前提下，ＭＥＭＳ产品将大有作为。
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