共 2 条
- [2] Micromachined thermally based CMOS microsensors .2 Baltes H,Paul O,Brand O. Proceedings of the IEEE . 1998
集成硅热流量传感器
被引：4
作者：
朱昊
秦明
黄庆安
机构：
[1] 东南大学MEMS教育部重点实验室
来源：
关键词：
流量传感器;
MEMS;
CMOS兼容;
D O I：
10.19708/j.ckjs.2003.04.002
中图分类号：
TP212.1 [物理传感器];
学科分类号：
摘要：
将传感器与电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小等优点 ,因而收到了广泛的重视。本文介绍了硅热流量传感器的基本原理及发展状况 ,并针对电路和传感器集成的过程中出现的问题进行了探讨 ,对该类传感器的设计有一定的参考价值。
引用
收藏
页码：5 / 8+12
+12
页数：5
相关论文