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我国科学家率先实现基于石墨烯的各向异性刻蚀技术
被引：2
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关键词：
石墨烯;
纳米结构;
能隙;
能带结构;
刻蚀技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
O6-1 [化学现状与发展];
学科分类号：
0703 ;
摘要：
据来自中科院的消息,最近,中国科学院物理研究所的几个研究小组共同合作,在中科院"百人计划"、国家自然科学基金和"973"项目资金资助下,利用自制的远程电感耦合等离子体
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