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亚波长介质光栅的制作误差分析
被引：20
作者：
曹召良
卢振武
李凤有
孙强
任智斌
赵晶丽
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,光电传感技术研究室长春,长春,长春,长春,长春,长春
来源：
关键词：
亚波长;
光栅;
方向误差;
面形误差;
RCWA;
衍射效率;
D O I：
暂无
中图分类号：
O436 [物理光学（波动光学）];
学科分类号：
摘要：
利用严格耦合波理论 (RCWA )分析了方向误差和面形误差对亚波长光栅衍射效率的影响 通过分析发现 ,方向误差和图案边缘钝化对光栅的衍射效率影响不大 ,而刻蚀过程中由于侧壁倾斜而产生的面形误差对光栅的衍射效率影响非常大 在制作亚波长光栅时 ,可以通过选取合理的刻蚀系统或增大占空比的方法来避免基底型误差的出现 该结论对于制作亚波长光栅具有重要的指导作用 同时根据得出的结论 ,选用专门用于硅深刻蚀的等离子体辅助刻蚀系统制作出了红外30 μm亚波长抗反射光栅 ,检测结果显示 ,光栅沟槽侧壁陡峭且透过率和设计值吻合得比较好
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页数：5
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