平面振动式微硅型加速计的研制

被引：5

作者：

茅盘松

方玉明

袁鲸

机构：

[1] 东南大学电子工程系!南京

来源：

传感技术学报 | 1997年 / 04期

关键词：

加速度计; 微机械; 设计; 制备;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

摘要：

本文详细介绍了一种单片硅平面振动式微型加速计的结构及其工作原理。分析了在其设计制造过程中所需考虑的各个因素。最后还介绍了其工艺实现方法。

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共 2 条

[1] 材料力学.[M].殷有泉;邓成光编;.北京大学出版社.1992,
[2] 高等材料力学.[M].林建兴;曹曼玲编;刘鸿文主编;.高等教育出版社.1985,