微型三坐标测量机定位精度的研究

被引：3

作者：

赵强 ^{[1
,2
]}

杨川 ^{[1
,2
]}

张志 ^{[1
,2
]}

机构：

[1] 机械制造系统工程国家重点实验室

[2] 西安交通大学精密工程研究所

来源：

关键词：

步进电机; 压电陶瓷; 激光干涉仪; 闭环控制;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH721 [坐标器和自动坐标器];

学科分类号：

摘要：

为了提高微型三坐标测量机粗定位平台的定位精度,在不增加新硬件的基础上,构建了由激光干涉仪、工控机和步进电机组成的粗定位闭环控制系统。并给出了步进电机在开环和闭环状态下的定位检测数据。检测结果表明:该系统明显地提高了步进电机的定位精度,满足了系统对于粗定位平台的定位要求。

引用

页码：88 / 90

页数：3

共 4 条

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